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电子气体

序号
产品名称
纯度
技术规格
净重
钢瓶型号
阀门型号
1
3N
水分:<10ppmw
酸度(以HCl计):<1ppmw
其它有机物:<100ppmw
43.3 kg
DOT 43.3 L
CGA580
5N
水分:<5ppmv
酸度(以HCl计):<0.1ppmw
空气:<1ppm
其它氟化烃:<10ppmv
45 kg
DOT 43.3 L
CAG660
2
3N
水分:<40ppmw
酸度(以HCl计):<1ppmw
其它有机物:<100ppmw
32.9 kg
DOT 43.3 L
CGA580
5N
水分:<5ppmv
酸度(以HCl计):<0.1ppmw
空气:<4ppm
34 kg
DOT 43.3 L
CGA660
3
3N
水分:<40ppmw
酸度(以HCl计):<1ppmw
其它有机物:<100ppmw
32.9 kg
DOT 43.3 L
CGA580
5N
水分:<5ppmv
酸度(以HCl计):<0.1ppmw
空气:<4ppm
32.9 kg
DOT 43.3 L
CGA580
4
3N
水分:<40ppmw
酸度(以HCl计):<1ppmw
其它有机物:<100ppmw
12.8 kg
DOT 43.3 L
CGA580
5N
水分:<5ppmv
酸度(以HCl计):<0.1ppmw
空气:<4ppm
12.8 kg
DOT 43.3 L
CGA580
5
3N
水分:<40ppmw
酸度(以HCl计):<1.0 ppmw
其它有机物:<100ppmw
45 kg
DOT 43.3 L
CGA580
6
5N
N2:<1.0 ppmv
O2:<1.0 ppmv
CH4:<0.5 ppmv
CO:<0.5 ppmv
CO2:<0.5 ppmv
H2O:<1.0 ppmv
Si2H6:<1.0 ppmv
电阻率:>10,000 (ohm/cm)
10kg/15kg
DOT 43.3/49 L
CGA350
DISS632
7
5N
空气 < 8 ppm
四氟化碳 < 5 ppm
水< 3 ppm
氢氟酸 < 0.1 ppmw
45 kg
DOT 43.3 L
CGA590
8
3N
水分:<10ppmw
酸度(以HCl计):<1.0 ppmw
其它有机物:<100ppmw
44 kg
DOT 43.3 L
CGA580
5N
N2:<8.0 ppmv
O2:<2.0 ppmv
CH4:<1.0 ppmv
CO:<1.0 ppmv
CO2:<1.0 ppmv
H2O:<1.0 ppmv
酸度(以HF计):<0.1 ppmw
44 kg
DOT 43.3 L
CGA660
9
5N
N2:<7.0 ppmv
Ar+O2:<2.0 ppmv
SF6:<1.0 ppmv
CO:<1.0 ppmv
CO2:<1.0 ppmv
H2O:<1.0 ppmv
酸度(以HF计):<0.1 ppmw
其它卤化碳:<1.0 ppmv
28.1 kg
DOT 43.3 L
CGA580
10
3N

氧化亚氮含量,10-2(V/V) ≥99.9
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤10.0
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤300.0
气态酸和碱 符合检验
卤化物(以卤素计) 符合检验
易还原物 符合检验
易氧化物 符合检验
砷化氢、磷化氢 符合检验
水分含量 g/m3 ≤0.1

27.2 kg
DOT 43.3 L
CGA326
DISS712

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