序号 |
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纯度 |
技术规格 |
净重 |
钢瓶型号 |
阀门型号 |
1 |
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3N |
水分:<10ppmw
酸度(以HCl计):<1ppmw
其它有机物:<100ppmw |
43.3 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
5N |
水分:<5ppmv
酸度(以HCl计):<0.1ppmw
空气:<1ppm
其它氟化烃:<10ppmv |
45 kg |
DOT 43.3 L |
CAG660 |
2 |
|
3N |
水分:<40ppmw
酸度(以HCl计):<1ppmw
其它有机物:<100ppmw |
32.9 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
5N |
水分:<5ppmv
酸度(以HCl计):<0.1ppmw
空气:<4ppm |
34 kg |
DOT 43.3 L |
CGA660 |
3 |
|
3N |
水分:<40ppmw
酸度(以HCl计):<1ppmw
其它有机物:<100ppmw |
32.9 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
5N |
水分:<5ppmv
酸度(以HCl计):<0.1ppmw
空气:<4ppm |
32.9 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
4 |
|
3N |
水分:<40ppmw
酸度(以HCl计):<1ppmw
其它有机物:<100ppmw |
12.8 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
5N |
水分:<5ppmv
酸度(以HCl计):<0.1ppmw
空气:<4ppm |
12.8 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
5 |
|
3N |
水分:<40ppmw
酸度(以HCl计):<1.0 ppmw
其它有机物:<100ppmw |
45 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
6 |
|
5N |
N2:<1.0 ppmv
O2:<1.0 ppmv
CH4:<0.5 ppmv
CO:<0.5 ppmv
CO2:<0.5 ppmv
H2O:<1.0 ppmv
Si2H6:<1.0 ppmv
电阻率:>10,000 (ohm/cm) |
10kg/15kg |
DOT 43.3/49 L |
CGA350
DISS632 |
7 |
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5N |
空气 < 8 ppm
四氟化碳 < 5 ppm
水< 3 ppm
氢氟酸 < 0.1 ppmw |
45 kg |
DOT 43.3 L |
CGA590 |
8 |
|
3N |
水分:<10ppmw
酸度(以HCl计):<1.0 ppmw
其它有机物:<100ppmw |
44 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
5N |
N2:<8.0 ppmv
O2:<2.0 ppmv
CH4:<1.0 ppmv
CO:<1.0 ppmv
CO2:<1.0 ppmv
H2O:<1.0 ppmv
酸度(以HF计):<0.1 ppmw |
44 kg |
DOT 43.3 L |
CGA660 |
9 |
|
5N |
N2:<7.0 ppmv
Ar+O2:<2.0 ppmv
SF6:<1.0 ppmv
CO:<1.0 ppmv
CO2:<1.0 ppmv
H2O:<1.0 ppmv
酸度(以HF计):<0.1 ppmw
其它卤化碳:<1.0 ppmv |
28.1 kg |
DOT 43.3 L |
CGA580 |
10 |
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3N |
氧化亚氮含量,10-2(V/V) ≥99.9
一氧化碳含量,10-6(V/V) ≤10.0
二氧化碳含量,10-6(V/V) ≤300.0
气态酸和碱 符合检验
卤化物(以卤素计) 符合检验
易还原物 符合检验
易氧化物 符合检验
砷化氢、磷化氢 符合检验
水分含量 g/m3 ≤0.1 |
27.2 kg |
DOT 43.3 L |
CGA326
DISS712 |